SF6气体已有百年历史，它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，1940年前后，美国军方将其用于曼哈顿计划（核军事）。1947年提供商用。当前SF6气体主要用于电力工业中。SF6气体用于4种类型的电气设备作为绝缘和/或灭弧；SF6断路器及GIS（在这里指六氟化硫封闭式组合电器，国际上称为“气体绝缘开关设备”（Gas Insulated Switchgear)）、SF6负荷开关设备，SF6绝缘输电管线，SF6变压器及SF6绝缘变电站。80%用于高中压电力设备。
其无色无臭无味，密度大约是空气的5倍，化学性质稳定，微溶于水、醇及醚，，可溶于氢氧化钾。不与氢氧化钠、液氨、盐酸及水起化学的反应。
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如：断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。冷冻工业作为制冷剂，制冷范围可在-45℃～0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。
虽然六氟化硫本身对人体无毒、无害，但它却是一种温室效应气体，其单分子的温室效应是二氧化碳的2.2万倍，是《京都议定书》中被禁止排放的6种温室气体之一。当今世界六氟化硫的排放量极少，对温室效应的贡献相比于二氧化碳而言完全可以忽略；但出于长久的环保，如何合理、正确的回收净化六氟化硫气体，是须解决的问题。
六氟化硫气体的毒性主要来自5个方面。
1、电器设备内的六氟化硫气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。
2、六氟化硫产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。
3、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与电极（Cu－W合金）及金属材料（AL、Cu）反应而生成某些有毒产物。
4、电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。
5、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。
为保障设备运行，SF6气室会装有SF6密度继电器，我们知道，同一纯度下直接测量气体密度是通过气体质量、体积，而工况却无法测量。为此工程师们设计了另一种间接反应SF6密度的方法，即测量气室内压力、温度，其工作原理是通过测量容器内压力、温度，通过同样条件下实测参数进行标定，从而间接反映气室内SF6密度情况。该方法被广泛应用在检测SF6气室因大量泄露而导致的人员及设备。而SF6微量泄露却无法通过本方法实时监测。
纯净的SF6气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
SF6气体泄露监测的主要方法有以下五种：
SF6气体泄露监测的主要方法有以下五种：
1）电化学技术（TGS830、TGS832）费加罗传感器或卤素气体传感器。
电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。但其检测分辨率较低，无法发现微量泄露。
2）高压击穿技术。
电击穿技术是从SF6在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。该方法寿命短、温度漂移大、湿度和粉尘影响大，卤素类气体对其有干扰，不适用于在线式系统。
3）红外光谱技术
红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。
4）电子捕获ECD原理
电子捕获检测器（electron capture detector)，简称ECD。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性（无电负性）的物质，如烷烃等则无信号。
5）超声波法
超声波在固定距离中传播时间是跟声波所通过的介质有一定的关系，理论上，当不同浓度SF6与空气混合后，通过固定距离所需时间与SF6浓度存在一定的关系，通过所需时间长短直接反应SF6气体浓度。缺点：超声波易受湿度、温度影响非常大，微量SF6的信号也是很微弱的，容易被空气的湿度或温度的变化所干扰，因此，在测低浓度时易造成误报或不报，适合高浓度检测。通过大量检测，当SF6浓度达10000ppm以上，超声波法检测比较可靠。
5）超声波法
超声波在固定距离中传播时间是跟声波所通过的介质有一定的关系，理论上，当不同浓度SF6与空气混合后，通过固定距离所需时间与SF6浓度存在一定的关系，通过所需时间长短直接反应SF6气体浓度。缺点：超声波易受湿度、温度影响非常大，微量SF6的信号也是很微弱的，容易被空气的湿度或温度的变化所干扰，因此，在测低浓度时易造成误报或不报，适合高浓度检测。通过大量检测，当SF6浓度达10000ppm以上，超声波法检测比较可靠。
参考资料
1． 六氟化硫——MSDS ．
2． 化学性质——化工词典 ．
3． 制备——化工词典 ．
4． 六氟化硫气体对人类环境的影响 ．六氟化硫 [引用日期2014-09-16] ．
5． 六氟化硫技术说明 ．六氟化硫msds [引用日期2014-06-26] ．
6． 六氟化硫与温室效应 ．中国知网 [引用日期2013-12-11] ．
7． 六氟化硫 ．化化网 [引用日期2014-10-20] ．
8． 六氟化硫气体及其电弧分解物的毒性试验 ．知网 [引用日期2014-06-26] ．
9． 【每日一词】六氟化硫 ．GeekWall极客墙 ．2012-05-07 [引用日期2012-12- 23] ．
10． 六氟化硫气体的电性能 ．六氟化硫 [引用日期2014-10-31] ．
