SF6气体早是由两位法国科学家Moissan和Lebeau与1900年合成，是一种人造的惰性气体，1947年开始投入商用，目前SF6气体主要用于电力工业中作为绝缘/灭弧介质，主要用于GIS、SF6断路器等高中压电力设备中。
SF6气体是一种无色无味无毒气体，相对空气密度为5.11，化学性质稳定，300℃以下干燥环境中不与铜、铁、铝等金属反应。
虽然SF6气体无毒且化学性质相对稳定，但在电弧、高温条件下会发生分解，产生剧毒的含硫化合物，而且这些分解产物还可能与设备内的电极（铜-钨合金）及金属材料（铝、铜等）发生反应生成其他有毒气体，一旦发生泄漏，对运维人员的人身将造成很大威胁。不仅如此，SF6气体的分解、泄漏还会大大降低绝缘/灭弧性能，对电气设备的运行埋下隐患。如SF6气体分解产物四氟化硫（SF4）、亚硫酰二氟（SOF2）、硫酰二氟（SO2F2）等，这些气体不但是有毒气体，而且还能和设备中残留的水发生反应生成具有腐蚀性的氢氟酸（HF），会对电气设备及其他零部件、绝缘材料产生腐蚀作用，致使其绝缘性能降低，影响设备使用。
部分六氟化硫分解物的性质及对人体的影响
化合物
性质
对人体的影响
HF
溶于水，具有腐蚀性，可与Al₂O₃反应
刺激呼吸道，伤害皮肤
SO2
与水反应生成H₂SO₃
危害肺部
SF2
易溶于水，与Al₂O₃反应
刺激呼吸道，伤害皮肤
S2F10
不水解，300℃热解
导致肺水肿
SOF2
不易水解，与AL2D3反应
导致肺水肿
SOF4
可水解
伤害肺部
SO2F2
不水解，400℃以上仍稳定
导致肺出血
OF2
不水解，稍溶于水
伤害肺部
上表所示，SF6的部分分解产物对人体的伤害不容小视。不仅如此，由于很难保证电气设备中出于完全干燥状态，而分解产物中又有部分气体可与水反应生成酸性溶液，会导致设备内部某些元器件的腐蚀，导致绝缘劣化、介电性能劣化等。
那么我们应该如何预防SF6的分解给设备和人体带来的危害呢？
1、采用SF6泄漏报警系统，当环境中SF6浓度达到某一阈值时报警并启动通风装置，防止对人员健康造成影响；
2、采用局部放电在线监测系统，因为局部放电对设备危害极大，放电还会导致SF6的分解，因此采用局部放电在线监测系统实时监测有无局部放电，便于运维人员及时发现故障；
3、采用密度微水监测系统，监测GIS内部SF6的浓度、压力、含水率等物理量。
